مقدار مشخصی از پراکسید هیدروژن به داخل محفظه تزریق می شود تبخیر سریع پراکسید هیدروژن به دلیل فشار منفی توزیع آن در چمبر بسیاری از باکتری هایی که در سطح قابل دسترسی هستند از بین می برد.

در این مرحله بخار پراکسیدهیدروژن در کل محفظه منتشر شده و با افزایش فشار، ابزار ها را استریل میکند در پایان این فاز، فشار چمبر کاهش می یابد و این مرحله شروع مرحله پلاسما است.

میدان الکترومغناطیسی مولکول های بخار پراکسیدهیدروژن را از هم می شکند. ایجاد پلاسما در دمای پایین (محیط) منجر به تولید اشعه اولتراویوله در رادیکال های آزاد می شود. بدنبال این عمل،کلیه میکروارگانسیم های فعال شده توسط میدان الکترومغناطیسی در برخورد با رادیکال های آزاد ار بین رفته و این رادیکال ها تبدیل به اکسیژن و بخار آب می شود. سپس فاز های سه گانه بالا مجددا تکرار می شوند.

فشار محفظه تخلیه می شود تا اجازه دهد که درب دستگاه باز شود . نیازی به خنک شدن نیست و ابزار آماده استفاده است.